用混合C-T双单器光学系统和特殊涂层高反射率光学器件，在保证光学系统高分辨率的同时，有效提高了光学系统光通量，实现仪器220nm杂散光指标优于0.00004%T，360nm杂散光指标优于0.00002%T（出自：《计量器具型式评价报告》）